自由時報 中打造EUV曼哈頓計畫？國內專家︰僅有光源無完整機台
中國傳出突破技術門檻打造出極紫外光（EUV）微影設備原型機，被視為中國版「曼哈頓計畫」，引起半導體業震撼。不過，業界專家認為，這只是透過抄襲、複製邁出追趕技術的第一步，能...…
中國傳出突破技術門檻打造出極紫外光（EUV）微影設備原型機，被視為中國版「曼哈頓計畫」，引起半導體業震撼。不過，業界專家認為，這只是透過抄襲、複製邁出追趕技術的第一步，能...…