특허심판원 “램리서치 해당 기술, 진보성 결여”반도체 공정용 실리콘 부품 전문기업 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비업체 램리서치와의 특허 소송에서 연이어 승소했다. 특허심판..