udn.com imec 獲全球最先進 High-NA EUV 系統
比利時微電子研究中心（imec）宣布艾司摩爾（ASML）EXE:5200高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）微影系統順利到廠，這套設備是目前市面上最先進的微影工具。藉由此次的策略里程碑，im...
比利時微電子研究中心（imec）宣布艾司摩爾（ASML）EXE:5200高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）微影系統順利到廠，這套設備是目前市面上最先進的微影工具。藉由此次的策略里程碑，im...