식각 공정용 소모품 ‘한정 링’ 특허 분쟁 “해당 기술, 램리서치 특허 권리범위 아니다”국내 반도체 공정용 부품 기업 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비업체 램리서치를 상대로..